利用超聲波氣流，強力去除玻璃表面1.6μm及以上尺寸的灰塵.尤其對于 3μm及以上的灰塵顆粒有非常好的去除效果.此設備可用于平板顯示制造行業的多個清洗工序，具有運行維護成本低，性能穩定，節拍快、效率高等優點.